特許

J-GLOBAL ID：200903075440826089

電力信号を変調してスパッタリングを制御するためのシステムおよび方法

発明者： マイケル ダブリュー. ストーウェル
出願人/特許権者： アプライド フィルムズ コーポレイション
代理人 (2件)： 山田 行一 ,  野田 雅一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-165117
公開番号（公開出願番号）：特開2007-046152
出願日： 2006年06月14日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】アーク放電等異常放電を抑えてデブリを防ぎ、効率的で信頼性の高い膜を形成するためのスパッタリング用電源及びシステムを提供する。【解決手段】真空チャンバ、基板を真空チャンバを通じて搬送するように構成された基板搬送システム、スパッタリングターゲットを支持するカソードであって、少なくとも部分的に真空チャンバ内にあるカソード、およびカソードに電力を供給するように構成された電源であって、変調電力信号を出力するように構成された電源を有するスパッタリングシステムを含む。態様に応じて、振幅変調電力信号、周波数変調電力信号、パルス幅電力信号、パルス位置電力信号、パルス振幅変調電力信号、あるいは他の種類の変調電力またはエネルギー信号を出力するように、この電源を構成することができる。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

スパッタリングを行うためのシステムであって、 真空チャンバと、 前記真空チャンバを通じて基板を搬送するように構成された基板搬送システムと、 スパッタリングターゲットを支持するためのカソードであり、少なくとも部分的に前記真空チャンバ内にある前記カソードと、 変調電力信号を、前記カソードに供給し、それによってスパッタリングを可能にするように構成された電源と を備えるシステム。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/44 ,  C23C 14/35

FI (3件)：

C23C14/34 C ,  C23C14/44 ,  C23C14/35 Z

Fターム (18件)：

4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA45 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC00 ,  4K029DC05 ,  4K029DC21 ,  4K029DC33 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029EA09 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09