3次元形状測定用格子板とその製造装置および3次元形状測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-007796
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196436
出願日： 1992年01月20日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】測定対象物の表面の3次元形状を測定する3次元形状測定装置、特に、測定対象物が生体であっても、支障なくその表面の微細な3次元形状を測定することの可能な3次元形状測定装置に関し、ロンキー格子を使用した従来の装置よりもさらに正確な形状測定が可能な3次元形状測定装置を実現することのできる測定用格子板とその製造装置ならびにその3次元形状測定装置を提供することを目的とする。【構成】半導体レーザ10、コリメータレンズ12、シリンドリカルレンズ14により感光フィルム16上に線状スポットを投影し、電動ステージ18の駆動に同期して半導体レーザ10の輝度を変調することによって、測定対象物上に正弦関数の強度分布を持つ格子を投影しうる正弦格子を得る。この格子を用いれば、幅の広い格子ピッチが要求される凹凸の激しい対象物についても精度の良い測定結果が得られる。

請求項（抜粋）：

第1の方向における光の透過率が実質的に一定であり、該第1の方向と交叉する第2の方向における光の透過率が所定の連続関数に従って変化しつつ繰り返す分布を有することを特徴とする3次元形状測定用格子板。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-184408
特開昭61-076906

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