特許
J-GLOBAL ID：200903075449341207
ポリッシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-071459
公開番号（公開出願番号）：特開平7-251372
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】 装置全体がコンパクトになり、かつ装置内の各機器類の隔離及びシールが容易なポリッシング装置を提供する。【構成】 ターンテーブル1とトップリング本体5との間にポリッシング対象物を介在させ所定の圧力で押圧してポリッシング対象物の表面を研磨する装置において、トップリング本体5を保持した支持軸6を上下動させトップリング本体5をターンテーブル1に対して押圧する押圧機構と、トップリング本体5をターンテーブル1上及びターンテーブル1から逸脱した範囲を揺動させる揺動軸16を有した揺動機構とを備え、トップリング本体5の揺動範囲は、ポリッシング対象物をターンテーブル1に押圧して揺動する小揺動範囲Aと、ターンテーブル1から逸脱した範囲でポリッシング対象物を受け取り及び離脱する中揺動範囲Bと、トップリング本体5の洗浄又は待避を行う大揺動範囲Cとからなる。
請求項（抜粋）：
各々独立した回転数で回転する上面に研磨布を貼ったターンテーブルとトップリング本体とを有し、前記ターンテーブルとトップリング本体との間にポリッシング対象物を介在させて所定の圧力で押圧することによって該ポリッシング対象物の表面を研磨し平坦且つ鏡面化するポリッシング装置において、前記トップリング本体を保持した支持軸を上下動させトップリング本体を前記ターンテーブルに対して押圧する押圧機構と、前記トップリング本体を前記ターンテーブル上及びターンテーブルから逸脱した範囲を揺動させる揺動軸を有した揺動機構とを備え、前記トップリング本体の揺動範囲は、ポリッシング対象物を前記ターンテーブルに押圧して揺動する小揺動範囲と、前記ターンテーブルから逸脱した範囲でポリッシング対象物を受け取り及び離脱する中揺動範囲と、前記トップリング本体の洗浄又は待避を行う大揺動範囲とからなることを特徴とするポリッシング装置。
引用特許：
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