特許
J-GLOBAL ID：200903075453174110

クリーンルームシステム

発明者：
謝 国平

謝 国平 について

, 
斎藤 隆雄

斎藤 隆雄 について


出願人/特許権者：
株式会社大林組

株式会社大林組 について


代理人 (1件)： 一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235145
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079630
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 一方向流を得るため、クリーンルームの天井全面にフィルタを取り付けなければ、クリーンルーム内の空気が乱流を生じて撹拌されてしまう。反面、天井全面にフィルタを取り付けると、建設コストが高くつく。【解決手段】 クリーンルーム11の天井面にフィルタ13を互いに間隔を隔てて配置する。フィルタ13の下流側全面に均一な吹き出し気流が生じるように圧力抵抗係数の異なる圧力抵抗板15を設ける。これにより、天井に取り付けるフィルタの数を低減させても、クリーンルーム内で均一な一方向流を得ることができ、建設コストも低減させることができる。
請求項（抜粋）：
天井チャンバ、クリーンルーム、リターンチャンバを備え、気流が室内を一様に一方向に流れる一方向流型クリーンルームシステムにおいて、天井面にフィルタを互いに間隔を隔てて配置し、前記フィルタの下流側の天井面全面に均一な吹き出し気流が生じるように圧力抵抗係数の異なる圧力抵抗板を設けることを特徴とするクリーンルームシステム。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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