特許
J-GLOBAL ID：200903075455013840
パターン検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-220807
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042939
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 TABなどの表面と裏面のパターンが対称形状である検査対象物の両面の検査を、効率良くかつ小容量のメモリを用いて実行する。【構成】 検査対象物であるTAB2の両面が表側撮像系4と裏側撮像系5とで読み取られ、2値化処理部6、7により2値化した画像信号PSa、PSbとしてそれぞれ出力される。半導体メモリ10は基準対象物であるTAB2の片面の基準画像信号MSを記憶する。画像補正部12で、画像信号PSa、PSb、MSの間の不必要な差異が縮小された上で、比較検査部13、14へ入力される。比較検査部13、14はそれぞれ検査対象物と基準対象物の画像信号を相互に比較して欠陥の有無を判定する。【効果】 半導体メモリは片面分の記憶容量で足り、しかも両面の検査が同時に行われる。
請求項（抜粋）：
表面及び裏面を有し、表面に形成された第1のパターンと裏面に形成された第2のパターンとが対称形状である検査対象物について、前記第1と第2のパターンの検査を行うパターン検査装置であって、(a)前記第1又は第2のパターンの比較基準となるべき基準パターンを表現した基準画像信号を記憶する記憶手段と、(b)前記検査対象物の表面の画像を当該表面に沿って読み取り、前記第1のパターンを表現する第1の画像信号を得る第1の画像読取手段と、(c)前記検査対象物の裏面の画像を当該裏面に沿って読み取り、前記第2のパターンを表現する第2の画像信号を得る手段であって、前記第1の画像信号が表現する画像の前記表面上の位置と、前記第2の画像信号が表現する画像の前記裏面上の位置が、互いに対向し合う位置であるように、前記第1の画像読取手段と同期して駆動される第2の画像読取手段と、(d)前記第1の画像信号と前記記憶手段から読み出した前記基準画像信号とを入力し、前記第1の画像信号と前記基準画像信号との間に所定の程度以上の差異があれば、前記第1のパターンにおいて欠陥有りを示す第1の判定信号を出力する第1の比較検査手段と、(e)前記第2の画像信号と前記記憶手段から読み出した前記基準画像信号とを入力し、前記第2の画像信号と前記基準画像信号との間に所定の程度以上の差異があれば、前記第2のパターンにおいて欠陥有りを示す第2の判定信号を出力する第2の比較検査手段と、を備えるパターン検査装置。
IPC (2件)：
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