均熱セラミックスヒーター

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241437
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064665
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【解決手段】セラミックスからなる絶縁性基板上に発熱体を構成する導電体層の回路パターンを蛇行状に形成してなる均熱セラミックスヒーターにおいて、上記蛇行状回路パターンの各U字状折り返し部が互いに直接対向しないように回路パターンを形成してなることを特徴とする均熱セラミックスヒーター。【効果】本発明によれば、発熱体を形成する回路パターンにおいて、パターンの折り返し部分同士を向かい合わせることをなくすことによって、ヒーター面内部での局部的な温度低下を減少させることができる。このようなヒーターを用いることによって、半導体プロセス、特に大型の処理を必要とする液晶プロセスなどでは、被処理体各部分での性能のばらつきを小さくすることができ、品質向上、大型化に役立つ。

請求項（抜粋）：

セラミックスからなる絶縁性基板上に発熱体を構成する導電体層の回路パターンを蛇行状に形成してなる均熱セラミックスヒーターにおいて、上記蛇行状回路パターンの各U字状折り返し部が互いに直接対向しないように回路パターンを形成してなることを特徴とする均熱セラミックスヒーター。

IPC (2件)：

H05B 3/14 , H05B 3/20 307

FI (2件)：

H05B 3/14 B , H05B 3/20 307

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