特許
J-GLOBAL ID：200903075464583608
風速センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262908
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072221
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 測定する気流の温度が急激に変化しても、出力信号に誤差が生じにくく、応答性の高い風速センサを提供する。【構成】 この風速センサ10は基板12を含み、基板12の上にはヒータ用薄膜測温抵抗体14と温度補償用薄膜測温抵抗体16とが形成される。ヒータ用薄膜測温抵抗体14と温度補償用薄膜測温抵抗体16とは、同一の形状および大きさに形成され、それぞれ、たとえば厚さ0.15mmの矩形のアルミナ基板の上に、たとえばPtをレーザトリミングあるいはエッチングすることによって形成される。さらに、基板12の上には、検出回路18として、定温度法の回路が形成され、検出回路18は、ヒータ用薄膜測温抵抗体14と温度補償用薄膜測温抵抗体16とに接続される。
請求項（抜粋）：
気流によって奪われる熱量を測定するためのヒータ用測温抵抗体、および前記気流の温度を測定するための温度補償用測温抵抗体を含み、前記ヒータ用測温抵抗体と前記温度補償用測温抵抗体とは、同一の形状および大きさに形成され、かつ、定温度法によって風速が検出される、風速センサ。
IPC (2件)：
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