光電変換素子用透明導電膜及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三澤正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-086305
公開番号（公開出願番号）：特開平5-075153
出願日： 1991年03月26日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】本発明は変換効率の良い光電変換素子用透明導電膜1を提供する。【構成】本発明光電変換素子用透明導電膜1は、表面にヘーズ率3乃至20%の組織2を具備する酸化亜鉛スパッタ膜3からなる。この透明導電膜1を用いた光電変換素子では、光の閉じ込めが良好となり、変換効率が向上する。

請求項（抜粋）：