特許

J-GLOBAL ID：200903075475298280

圧力センサー

発明者： 石田 邦夫 ,  伊藤 聡
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-312095
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169979
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 高圧下での試料の光学応答の精密な測定を可能にするような圧力センサーを提供する。【構成】 圧力センサーは、膜方向に沿ったある互いに垂直な2方向における有効質量比が0.5以下となる薄膜状光学材料からなる圧力感知部材と、該光学材料の光吸収帯を含む波長領域に受光感度を有する受光装置と、該光学材料の光吸収帯を含む波長領域に発光特性を有する発光装置とを備え、該光学材料に加わる圧力に起因する上記有効質量比変化を該光学材料の光吸収帯の波長変化によって検出する【効果】 試料と圧力感知部材が分離可能であるので、互が干渉しあうことなく、圧力及び試料の光学特性を高い精度で測定することが可能となる。

請求項（抜粋）：

膜方向に沿ったある互いに垂直な2方向における有効質量比が0.5以下となる薄膜状光学材料からなる圧力感知部材と、該光学材料の光吸収帯を含む波長領域に受光感度を有する受光装置と、該光学材料の光吸収帯を含む波長領域に発光特性を有する発光装置とを備え、該光学材料に加わる圧力に起因する上記有効質量比変化を該光学材料の光吸収帯の波長変化によって検出することを特徴とする圧力センサー。

IPC (3件)：

H01L 29/84 ,  G01L 11/02 ,  G01N 21/27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 高圧力センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-038194   出願人：日本電気株式会社