特許

J-GLOBAL ID：200903075488846561

位置決め装置及びこれに用いられるピエゾアクチュエータ駆動装置

発明者： 小野 一也 ,  宇梶 隆夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283639
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120105
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 位置決め時間や精度向上させ、また、それに用いられるピエゾアクチュエータの破損をスループットの低下を招くことなく防止する。【構成】 位置決め装置において、基礎部と、該基礎部に対して少なくともX及びY方向に剛でwx 及びwy 方向に柔なガイド手段によって連結されたステージと、前記基礎部上に設けられて前記ステージを支持し、少なくともwx 及びwy方向に柔でZ方向に剛なそれぞれ独立して駆動制御可能な4つ以上のアクチュエータ手段と、該アクチュエータ手段を駆動させて前記ステージを少なくともwx及びwy 方向に駆動制御する駆動制御手段を具備する。また、ピエゾアクチュエータ駆動装置において、はピエゾアクチュエータの電流を制御する手段と、この電流制御手段に与える電流指令値のスルーレイトおよび絶対値を制限する手段とを備える。

請求項（抜粋）：

基礎部と、該基礎部に対して少なくともX及びY方向に剛でwx 及びwy 方向に柔なガイド手段によって連結されたステージと、前記基礎部上に設けられて前記ステージを支持し、少なくともwx 及びwy 方向に柔でZ方向に剛なそれぞれ独立して駆動制御可能な4つ以上のアクチュエータ手段と、該アクチュエータ手段を駆動させて前記ステージを少なくともwx 及びwy 方向に駆動制御する駆動制御手段を具備することを特徴とする位置決め装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/14 ,  B23Q 5/28 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 311 L ,  H01L 41/08 K

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-139013
  
• 特開昭60-083386
  
• 特開平1-250891
  
• 特開平1-302197
  
• 特開昭60-083386