特許

J-GLOBAL ID：200903075497881469

ソーイング懸濁液及び結晶からウエハを切断する方法

発明者： ヴェルノン・クネプラト ,  ヴァルター・フランク ,  マクシミリアン・カエザー ,  アルバート・ペムヴィーザー
出願人/特許権者： ワッカー・ジルトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・ハルブライターマテリアリエン・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223890
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130635
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】硬質材料粒子を分散した非水性液から実質的になり、脆性・硬質材料結晶からウエハを切断するためのワイヤソーとともに使用されるソーイング懸濁液を提供すること。【解決手段】硬質材料粒子を分散した非水性液から実質的になるソーイング懸濁液において、前記液体が低分子量ポリグリコール類及び前記化合物の混合物を含んでなる化合物群から選択されたソーイング懸濁液。

請求項（抜粋）：

硬質材料粒子を分散した非水性液から実質的になるソーイング懸濁液であって、前記非水性液が、低分子量ポリグリコール類及び前記化合物の混合物を含んでなる化合物群から選択されたものであることを特徴とする、ソーイング懸濁液。

IPC (6件)：

C09K 3/14 550 ,  B28D 5/04 ,  C10M173/02 ,  C30B 33/00 ,  H01L 21/304 311 ,  C10N 40:22

FI (5件)：

C09K 3/14 550 Z ,  B28D 5/04 C ,  C10M173/02 ,  C30B 33/00 ,  H01L 21/304 311 W

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭49-013232
  
• 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-224237   出願人：信越半導体株式会社, 大智化学産業株式会社, 三益半導体工業株式会社
• 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-224238   出願人：信越半導体株式会社, 大智化学産業株式会社, 三益半導体工業株式会社