特許
J-GLOBAL ID：200903075501872364
偏光測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-110940
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306995
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 装置の電気系にノイズがある場合にも、試料の複屈折を正確に測定することができる偏光測定装置の提供を目的とする。【構成】 直線偏光を発する光源10と、直線偏光を円偏光に変換するλ/4板20と、試料30を射出した光束の光路中に光軸回りに回転自在に設けられた検光子50と、検光子50を透過した光束を受光するイメージセンサ60と、光束を入射させない場合のバイアス出力を記憶するメモリ64と、イメージセンサ60の出力からメモリ64の出力を差し引いて補正された受光信号を出力する補正回路65と、検光子50を回転させつつ補正回路65の出力を検出して試料30の複屈折を測定するコンピュータ62とを有する。
請求項（抜粋）：
特定の偏光を試料に対して入射させる光源と、該試料を射出した光束の偏光状態を変化させる偏光素子と、該偏光素子を透過した光束を受光する受光手段と、前記受光手段に光束を入射させず測定した受光手段固有のバイアス出力を記憶する記憶手段と、前記受光手段の出力から前記記憶手段の出力を差し引いて補正された受光信号を出力する補正手段と、前記偏光素子を回転させつつ前記補正手段の出力を検出して前記試料の複屈折を測定する測定手段とを有することを特徴とする偏光測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/23
, G01J 4/04
, G01M 11/00
