特許

J-GLOBAL ID：200903075511808648

露光装置およびデバイス製造方法ならびに駆動装置

発明者： 江本 圭司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113256
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307430
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 駆動装置が発する熱に起因する位置決め精度への悪影響を簡易かつ低コストで除去する。【解決手段】 駆動力を発生する駆動手段と、該駆動手段の制御を行う駆動力制御手段と、該駆動手段から発生する熱を回収する温調手段とを備え、該駆動力制御手段の該駆動手段を制御する信号に基づいて、該温調手段の冷却量を制御する駆動装置であり、前記温調手段は、前記駆動手段が発生する熱量を予測して制御を行う。これにより、温度センサが不要になり、積極的に温調を施すことで、温度制御の時間的な遅れをなくし、低コストで高精度な駆動装置の温調を行うことができる。

請求項（抜粋）：

露光光を照射する照明光学系と、基板を搭載するステージと、原版に形成されたパターンを該基板に転写する露光動作を制御する主制御装置とを有する露光装置において、温度を制御する温調手段を備え、該主制御装置の該露光動作のための信号に基づいて、該温調手段の制御を行うことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 E