特許
J-GLOBAL ID：200903075519772065
走査プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-254360
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104242
出願日： 1996年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【目的】STMの機能とAFMの機能とを1台のスキャナで行うようにする。【構成】STMの場合は、試料台49をベースユニット32のX-Y-Zステージ31に取り付け、その上に試料ホルダ40、試料39を順に取り付ける。コンタクト電極50がピンコンタクト38に接触して、試料39とピンコンタクト38とが電気的に導通する。チューブ形スキャナ35を保持したスキャナホルダ36を、STMヘッド34のスキャナホルダ受け47に取り付ける。コンタクト電極37がピンコンタクト48に接触してスキャナ35に電源が供給される。スキャナ35に、探針41を保持した探針ホルダ42を取り付けた後、STMヘッド34をベースユニット32の上に取り付ける。AFMの場合は、スキャナ35を保持したスキャナホルダ36を上下逆にしてX-Y-Zステージ31に取り付けるとともに、AFMヘッドをベースユニット32の上に取り付ける。
請求項（抜粋）：
スキャナと、前記スキャナを保持するとともにこのスキャナの駆動用電源を得るための第1のコンタクト電極を有するスキャナホルダと、ベースユニットに着脱可能に取り付けられるとともに前記第1のコンタクト電極に接触可能な電気的な第1のピンコンタクトを有し、更に前記スキャナホルダが取付可能なX-Y-Zステージと、前記ベースユニットに着脱可能に取り付けられレーザー光源、先端に探針を有するカンチレバーおよびフォトディテクタがそれぞれ取り付けられた原子間力顕微鏡用ヘッドと、前記X-Y-Zステージに取り外し自在に取付可能であるとともに前記第1のピンコンタクトに接触可能な第2のコンタクト電極を有する試料台と、前記スキャナおよび前記試料台に取り外し自在に取付可能であるとともに試料を保持する試料ホルダと、前記ベースユニットに着脱可能に取り付けられるとともに前記第1のコンタクト電極に接触可能な電気的な第2のピンコンタクトを有し、更に前記スキャナホルダが取付可能なスキャナホルダ受けを有する走査トンネル顕微鏡用ヘッドとを備えることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 B
, G01N 37/00 F
, G01B 7/34 Z
