感光性永久レジストフィルム及び永久パターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：廣田浩一 , 流良広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-216189
公開番号（公開出願番号）：特開2006-285179
出願日： 2005年07月26日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】プリント配線板上に形成された導体回路の角部を覆う永久パターンの被膜が良好であり、永久パターン全面の平坦度が高く、高精細であり、かつ生産効率の優れた感光性永久レジストフィルム及び永久パターン形成方法の提供。【解決手段】支持体上に、第1の感光性層及び第2の感光性層を有してなり、前記第1の感光性層が、アルカリ可溶性光架橋性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、エポキシ硬化剤及び無機微粒子(A)を含む第1の感光性組成物からなり、前記第2の感光性層が、アルカリ可溶性光架橋性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、エポキシ硬化剤及び無機微粒子(B)を含み、該無機微粒子(B)の含有率(質量%)が、前記無機微粒子(A)の含有率(質量%)の1/3以下である第2の感光性組成物からなる感光性永久レジストフィルムである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持体上に、第1の感光性層及び第2の感光性層を有してなり、前記第1の感光性層が無機微粒子(A)を少なくとも含む第1の感光性組成物からなり、前記第2の感光性層が無機微粒子(B)を少なくとも含み、該無機微粒子(B)の含有率(質量%)が、前記無機微粒子(A)の含有率(質量%)の1/3以下である第2の感光性組成物からなることを特徴とする感光性永久レジストフィルム。

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G03F 7/20 , G03F 7/26 , H05K 3/28 , H05K 3/46

FI (7件)：

G03F7/004 512 , G03F7/004 501 , G03F7/20 506 , G03F7/26 511 , H05K3/28 D , H05K3/28 F , H05K3/46 T

Fターム (65件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA17 , 2H025AA18 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BJ06 , 2H025BJ08 , 2H025BJ10 , 2H025CA00 , 2H025CC08 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025DA01 , 2H025DA09 , 2H025DA11 , 2H025DA13 , 2H025EA08 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096CA16 , 2H096EA02 , 2H096EA04 , 2H096EA23 , 2H096GA08 , 2H096KA04 , 2H096KA05 , 2H096KA07 , 2H096KA12 , 2H096KA13 , 2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097CA17 , 2H097EA01 , 2H097FA02 , 2H097FA05 , 2H097FA07 , 2H097LA09 , 5E314AA27 , 5E314AA32 , 5E314AA42 , 5E314BB02 , 5E314CC01 , 5E314CC15 , 5E314EE01 , 5E314EE03 , 5E314GG24 , 5E314GG26 , 5E346AA17 , 5E346AA32 , 5E346BB02 , 5E346CC46 , 5E346DD02 , 5E346DD03 , 5E346EE35 , 5E346HH26 , 5E346HH31

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭54-82073号公報
特開昭63-252498号公報
特開昭63-200594号公報

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