特許

J-GLOBAL ID：200903075520427339

熱処理炉

発明者： 前川 俊一 ,  稲嶺 一 ,  吉野 明 ,  木山 洋実 ,  大森 宣典 ,  奥 秀彦
出願人/特許権者： セミックスエンジニアリング株式会社 ,  大同ほくさん株式会社
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245647
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092624
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 急熱急冷の熱処理をバッチ方式で実施することが可能な熱処理炉を提供する。【解決手段】 円筒形の炉心管1の外方に円筒形の外套管2を被せ、この両者の側壁間に熱源を配置するとともに、熱源として例えば複数本の環形ランプ3・・3または螺旋状に巻いた線状の加熱体を使用することで、炉内の熱処理領域をバッチ処理に対応可能で、かつ、熱容量を可能な限り小さくしている。なお、本発明において、熱処理工程での急冷特性を更に高める場合、炉心管1と外套管2の側壁間に形成される空間に、不活性ガスを導入するといった手段を採用すればよく、また、熱源として複数本の環形ランプ3・・3を用いる場合、その各ランプの輻射エネルギを検出して、各ランプをそれぞれ個別に制御する手段を設けておけば、目的とする炉の温度プロファイルを容易に実現することができる。

請求項（抜粋）：

耐熱透明材料製の円筒形容器で内部に被処理物が置かれる炉心管と、この炉心管の外方を所定の空間を挟んで覆う外套管と、上記炉心管の側壁外面と外套管内面との間に配置された熱源を備えてなる熱処理炉。

IPC (5件)：

H01L 21/22 511 ,  C30B 33/02 ,  H01L 21/26 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

FI (5件)：

H01L 21/22 511 A ,  C30B 33/02 ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 D ,  H01L 21/26 L