特許

J-GLOBAL ID：200903075534697487

固体撮像装置の製造方法

発明者： 大田垣 智子 ,  佐野 義和
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-059532
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311310
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】 固体撮像素子を形成した半導体基板1上に、アクリル系樹脂を用いて染色層4〜7を形成する際、染浴液中に染色助剤としてカルボン酸塩を添加することにより、濃染に染色され、表面膜荒れがなく、薄膜でかつ良好な分光特性をもつカラーフィルターを備えた固体撮像装置を提供する。【構成】 半導体基板1上に、アクリル等の透明な平坦化樹脂層2aを形成し、その上に遮光膜3、さらに平坦化樹脂層2bを形成する。平坦化樹脂層2b上に、ジアゾ化合物を感光剤とする合成樹脂からなる染色基質をスピンコート法等により0.2〜0.8μm塗布し、ステッパー等を用いて選択露光、現像を行って、カラーフィルタのパターンを形成する。次に該パターン形成したものを、例えばシアン染料にて染色し、シアン層5を形成する。このとき染浴には有機酸アンモニウム塩と尿素化合物とを添加する。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子を形成した半導体基板上に、アクリル系樹脂を用いて染色層を形成する際、染浴液中に染色助剤としてカルボン酸塩を添加することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 27/14