特許
J-GLOBAL ID：200903075538731086
超音波振動子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-021805
公開番号（公開出願番号）：特開平5-191988
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 超音波リニアモータあるいは超音波2次元アクチュエータを得る。また、トンネル走査顕微鏡や原子間力顕微鏡等の探触針の駆動に応用する。【構成】 4つの積層圧電素子1a〜1dを互いに90°異なる方向に基台2へ固定し、十字型に切り込んだドーム状の弾性体3を積層圧電素子1a〜1dに固定し、弾性体3の頂点部分に摺動部4を固定する。
請求項（抜粋）：
伸縮方向が同一平面となる様に配置した複数の圧電素子と、該圧電素子を固定する基台と、圧電素子の伸縮端に固定したドーム状の弾性体とを具備したことを特徴とする超音波振動子。
IPC (2件)：
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