特許
J-GLOBAL ID：200903075542598820
ウエーハ収納容器のウエーハ押え
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-245253
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063065
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】[目的] 全ウエーハの上縁を常に確実に保持してウエーハの係止溝からの脱落を防ぎ、ウエーハの損傷や汚染を防ぐことができるウエーハ押えを提供すること。[構成] ウエーハ押え3の弾性片6...の係止部に櫛歯状の係止片8a...、9a.../又は9a...,9b...を設け、該係止片8a...、9a.../又は9a...,9b...の間に、ウエーハが嵌合すべき溝12...を形成するとともに、隣接する弾性片6,6の係止片8a...と9b.../及び8b...と9a...同士を噛み合わせて側面視でこれらが互いにオーバーラップするよう構成する。ウエーハの弾性片6,6間への落ち込みは、互いに噛合する係止片8a...と9b.../又は8b...と9a...によって阻止されるため、全ウエーハは溝12...に嵌まり込んで保持され、これの破損及び汚染が確実に防がれる。
請求項（抜粋）：
ウエーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けられ、ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエーハの各上縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持するウエーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾性片のウエーハ係止部に櫛歯状或いは鋸歯状の係止片を設け、該係止片の間に、ウエーハが嵌合すべき溝を形成するとともに、隣接する弾性片の係止片同士を噛み合わせて側面視でこれらが互いにオーバーラップするよう構成したことを特徴とするウエーハ収納容器のウエーハ押え。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
