特許
J-GLOBAL ID：200903075544705240
加工用レーザ装置に用いられる結晶保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225084
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053356
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 出力レーザ光のパワー変動を小さくすることができる結晶保持装置を提供すること。【解決手段】 非線形光学結晶1は、アルミニウム等の熱伝導性の良い材料で形成された結晶保持体2により全長が覆われておりその周囲にヒータ3が取り付けられ、その外側にはセラミックス等からなる断熱材4が取り付けられている。非線形光学結晶1の温度は、図示しない温度制御手段により一定に制御される。レーザ光出射面側の結晶保持体2は、非線形光学結晶1の出射面より突出している。このため、レーザ光を入射したときに非線形光学結晶に生じる過渡的な温度変化を小さくすることができ、動作時の出力を安定にすることができる。また、レーザ光入出射面の両側の結晶保持体2を非線形光学結晶1の入出射面より突出させるように構成しても同様の効果が得られる。
請求項（抜粋）：
非線形光学結晶により高調波レーザ光を発生させ、該高調波レーザ光を被照射物に間欠的に照射して、被照射物の孔あけ・マーキング等の除去作業を行う加工用レーザ装置に用いられる結晶保持装置であって、上記結晶保持装置は、加熱・冷却手段により一定温度に保持される熱伝導のよい物質で形成された結晶保持体を備え、上記結晶保持体により非線形光学結晶の全長を覆うとともに、上記結晶保持体の少なくともレーザ光の出射側を、上記非線形光学結晶端より突出させたことを特徴とする加工用レーザ装置に用いられる結晶保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
5F072AB02
, 5F072HH02
, 5F072HH03
, 5F072JJ05
, 5F072KK12
, 5F072KK24
, 5F072QQ02
, 5F072TT12
, 5F072YY06
