光ディスク原盤露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314644
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169114
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】多品種の露光フォーマットを最小限の調整で再現性良く安定した溝形状品質を得る。【構成】第1軸の露光ビームに偏向角の変調を与えるために設けられたウォブルA/O変調器4を通過したレーザ光は、λ/2波長板7を回転させることで位置を変えPBS8aで透過、反射、分割を選択することができる。分割された光学系は、PBS8aが等距離(L1=L2)離れた位置にビームエキスパンダ13,14が設置されている。ビームエキスパンダ13,14を通過したレーザ光はPBS8bで再び合成される。その後、再びλ/2波長板9を回転させ、PBS10で第2軸と合成されて、λ/4波長板を通り、対物レンズ15へ入射する。第2軸については、変調光学系通過後、ビームエキスパンダ12でビーム径拡大後、λ/2波長板6とPBS10により第1軸と合成されて対物レンズ15へ入射する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を出射するレーザ光源と、該レーザ光源より出射したレーザ光を複数の露光軸に分けて露光ビームとし、各々の露光軸に設けられた光量変調用のアナログ音響光学変調器及びパルス変調用のディジタル音響光学変調器と、前記露光軸の一方に設けられた第1のビームエキスパンダと、前記露光軸の他方に設けられ、露光ビームに偏向角の変調を与えるための音響光学変調器と、該音響光学変調器を通過したレーザ光のビーム径を変える複数の第2のビームエキスパンダとから成り、前記各変調器を介したレーザ光を対物レンズによりレジスト板上に集光して露光することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。

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