特許

J-GLOBAL ID：200903075558483275

光学部品の曲率半径測定方法及び測定装置

発明者： 山本 貴広
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-020830
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221017
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 曲率半径を検査する場合に、被検面と同一の曲率半径を持つ原器を必要としない、測定器を提供する。【解決手段】曲率半径が既知の原器が面反射する位置と被検面が面反射する位置との差を測長した結果と、原器の曲率半径から被検面の曲率半径が得られる。

請求項（抜粋）：

フィゾー型の干渉計を用いた曲率半径測定法であって、既知の曲率半径を有する原器を準備し、面反射によって縞一色状態となる該原器の光軸上の位置と面反射によって縞一色状態となる被検物の光軸上の位置との距離を求め、この値を基に該被検物の曲率半径を求めることを特徴とする曲率半径測定法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/24 M ,  G01B 9/02

Fターム (18件)：

2F064AA09 ,  2F064BB05 ,  2F064CC04 ,  2F064EE05 ,  2F064GG11 ,  2F064GG47 ,  2F065AA04 ,  2F065AA46 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065FF55 ,  2F065LL10 ,  2F065LL19 ,  2F065UU07