特許

J-GLOBAL ID：200903075559227124

超純水製造システム

発明者： 田中 俊徳
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-238554
公開番号（公開出願番号）：特開平9-075934
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 超微量金属分析等に用いる、金属イオン等の含有量がpptレベルの超純水を製造することができるシステムを提供する。【解決手段】 活性炭装置とイオン交換樹脂装置とをこの順で含む超純水製造システムであるか、又は原水に比抵抗値10MΩ・cm以上の水を用い、かつイオン交換樹脂装置を含む超純水製造システムであって、該イオン交換樹脂装置とユースポイントとの間に、濾過器及び少なくとも三方に切り換えられる弁(三方弁)をこの順に設置し、ユースポイントで超純水を使用しない場合には弁の切り換えにより循環経路に超純水を回して循環させる機能を有し、その循環経路の途中にイオン検出器を設置してなる超純水製造システム。

請求項（抜粋）：

活性炭装置とイオン交換樹脂装置とをこの順で含む超純水製造システムであるか、又は原水に比抵抗値10MΩ・cm以上の水を用い、かつイオン交換樹脂装置を含む超純水製造システムであって、該イオン交換樹脂装置とユースポイントとの間に、濾過器及び少なくとも三方に切り換えられる弁(三方弁)をこの順に設置し、ユースポイントで超純水を使用しない場合には弁の切り換えにより循環経路に超純水を回して循環させる機能を有し、その循環経路の途中にイオン検出器を設置してなる超純水製造システム。

IPC (5件)：

C02F 1/42 ,  B01J 39/04 ,  B01J 41/04 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/44

FI (5件)：

C02F 1/42 A ,  B01J 39/04 G ,  B01J 41/04 G ,  C02F 1/28 F ,  C02F 1/44 J