特許
J-GLOBAL ID：200903075566395377
薄板セラミツクスの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-296827
公開番号（公開出願番号）：特開平5-131415
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 圧電性セラミックス等の薄板セラミックスの製造方法において、変形が小さくクラックのない良質の薄板セラミックスが得られる製造方法を提供する。【構成】 キャリアフィルム上に塗布されたセラミック原料および水溶性バインダを主体とするスラリを乾燥させて作製したセラミックグリーンシートを必要な形状に加工した後、脱脂および焼成して薄板セラミックスを得る製造方法において、スラリを乾燥温度が40〜50°C、相対湿度が40〜60%の湿中雰囲気下で乾燥することにより、グリーンシートの表面付近に水溶性バインダが片寄ることがなくなり、このため脱脂時や焼成時における変形やクラックの発生が抑えられて良質の薄板セラミックスが得られる。
請求項（抜粋）：
キャリアフィルム上に塗布されたセラミック原料および水溶性バインダを主体とするスラリを乾燥する工程と、その乾燥されたスラリを前記キャリアフィルムから剥離してセラミックグリーンシートを作製する工程と、そのセラミックグリーンシートを必要な形状に加工した後脱脂し焼成する工程とからなり、かつ前記スラリの乾燥を乾燥温度が40〜50°Cで相対湿度が40〜60%の湿中雰囲気下で行なうことを特徴とする薄板セラミックスの製造方法。
IPC (3件)：
B28B 1/30 101
, C04B 33/30
, C04B 35/00
