特許

J-GLOBAL ID：200903075570652821

露光装置および露光方法

発明者： 臼井 哲也 ,  北川 智也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  福島 弘薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-045699
公開番号（公開出願番号）：特開2006-234921
出願日： 2005年02月22日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：

【課題】露光対象となる感光材料の被露光面の高さを簡単に自動設定できるようにして、不要な停止や感光材料の無駄な消費を防止可能とした露光装置および露光方法を提供すること。 【解決手段】感光材料の被露光面の位置高さを測定して、取得した測定データに基づいて露光用の光ビームの焦点位置を上記被露光面に一致させるフォーカス制御を行い、上記感光材料の被露光面の位置高さが予め設定された範囲を外れた場合には、この感光材料の被露光面の位置高さを変更して、測定を再実行する距離測定再実行することを特徴とする露光方法とこれを具体化した装置。【選択図】 図12

請求項（抜粋）：

感光材料を移動手段により前記走査方向に相対移動させつつ、画像データに応じて変調された光ビームを出射する露光手段により露光する露光装置であって、 前記感光材料の被露光面の位置高さを測定する距離測定手段と、この距離測定手段により取得した測定データに基づいて前記露光手段の光ビームの焦点位置を前記被露光面に一致させるフォーカス制御を行うフォーカス制御手段とを有し、 前記距離測定手段により取得した測定データが予め設定された閾値を超えた場合には、前記感光材料の被露光面の位置高さを変更して前記距離測定手段による測定を再実行する距離測定制御手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/207 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

G03F7/207 Z ,  G03F7/20 505

Fターム (5件)：

2H097BA01 ,  2H097BA10 ,  2H097CA17 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12