特許

J-GLOBAL ID：200903075576834840

光硬化性樹脂組成物

発明者： 奥尾 雅巳 ,  榎本 裕之 ,  胡間 俊男
出願人/特許権者： 日本油脂株式会社
代理人 (1件)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-062904
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250390
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 レジスト材料としてのアルカリ現像性、感度、耐熱性、接着性および保存安定性にすぐれた光硬化性樹脂組成物を提供する。【構成】 a)エポキシ基を有する単量体1〜95重量%、酸無水物基を有する単量体5〜50重量%およびこれらの単量体と共重合が可能なその他の単量体0〜94重量%を用いてなる重合体100重量部に、b)光プロトン発生剤0.01〜20重量部、c)反応性希釈剤0〜200重量部を含ませて、光硬化性樹脂組成物を構成する。

請求項（抜粋）：

a)エポキシ基を有する単量体1〜95重量%、酸無水物基を有する単量体5〜50重量%およびこれらの単量体と共重合が可能なその他の単量体0〜94重量%を用いてなる重合体100重量部に、b)光プロトン発生剤0.01〜20重量部、c)反応性希釈剤0〜200重量部を含ませたことを特徴とする光硬化性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 503 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28