特許
J-GLOBAL ID：200903075579968236
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212025
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034375
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 静止状態における洩れ出力を低減し、角速度の検出精度や信頼性等を向上する。【構成】 片持梁13に幅方向に離間して各圧電体15,15を設けると共に、各圧電体15により静止状態で片持梁13を振動させ、片持梁13の変位量を左,右のピエゾ抵抗素子16からの検出信号の差分ΔV(=VL-VR)によって検査し、この検査結果に基づき、各圧電体15に印加する交流電圧V1 ,V2 を調整することにより、各圧電体15の変形力(振動力)を片持梁13の幅方向たる左,右方向でバランスさせるポテンショメータ18を設ける構成とした。これにより、ポテンショメータ18の摺動子18Aの位置を各ピエゾ抵抗素子16からの検出信号の差分ΔVに基づいて調節し、静止状態において、片持梁13を左,右方向に傾けることなく上,下方向に振動させる。
請求項（抜粋）：
基板と、基端側が該基板に固定され先端側が自由端となった片持梁と、該片持梁に設けられ、電極を介して伝達された制御信号により該片持梁をそれぞれ振動させる複数の振動発生部と、前記片持梁の変位量を検出する変位量検出部と、該変位量検出部からの検出信号に基づき、前記各振動発生部の振動力を前記片持梁の幅方向に対してバランスさせる振動力調整手段とから構成してなる角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 13/04
