ノズルプレートの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100834
公開番号（公開出願番号）：特開平7-304176
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】良好にインクを噴射することができるノズルプレートの製造方法を提示すること。【構成】まず、基板1の一面に撥水性膜2を形成する。次に、エキシマレーザビームを、ノズルプレート3の基板1上に結像させてノズル加工を行う。次に、ノズル加工を行ったノズルプレート3の撥水性膜2を除く部分に親水化処理を行う。0.1規定の水酸化ナトリウム水溶液8を60°Cから90°Cに加熱し、ノズルプレート3を1分間浸漬し取り出した後、純水にて洗浄し温風で乾燥させた。この処理後、親水化の程度を、純水の接触角で調べたところ、処理を行わないポリイミドは、64°であったのに対し本実施例の処理を行った後では15°となり十分に親水化されたのが確かめられた。

請求項（抜粋）：

インクが噴射されるノズルが形成される基板と、前記基板のノズルが形成される位置の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプレートの製造方法であって、前記基板に撥水性膜を形成する工程と、前記撥水性膜が形成された前記基板に前記ノズルを形成する工程と、前記基板のインクに接する部分を親水化処理する工程とからなることを特徴とするノズルプレートの製造方法。

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