プラズマ室並びにその製造方法及びプラズマ表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168313
公開番号（公開出願番号）：特開平5-342993
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】少量で大きな吸着面積が得られ、安価で取り扱いが容易であり、低温での吸着特性が優れるといった蒸発型ゲッタの利点を活かしたプラズマ室、並びに蒸発型ゲッタを用いたプラズマ室の製造方法、及びかかるプラズマ室を備えたプラズマ表示装置を提供する。【構成】放電用ガスが封入されたプラズマ室は、プラズマ室の内壁に蒸発型ゲッタが付着していることを特徴とする。また、プラズマ室の製造方法は、(イ)蒸発型ゲッタが配置されたプラズマ室を排気する工程と、(ロ)蒸発型ゲッタを活性化し、プラズマ室の内壁に蒸発型ゲッタを吸着させる工程と、(ハ)プラズマ室に放電用ガスを封入する工程、を含む。

請求項（抜粋）：

放電用ガスが封入されたプラズマ室であって、プラズマ室の内壁に蒸発型ゲッタが付着していることを特徴とするプラズマ室。

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