特許

J-GLOBAL ID：200903075604191845

シート状部材の吸着固定装置及び方法

発明者： 伊藤 敏文 ,  高橋 喜久夫 ,  古林 眞
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (7件)： 岡部 正夫 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  木宮 直樹 ,  齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-207866
公開番号（公開出願番号）：特開2008-034693
出願日： 2006年07月31日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】極薄の長尺シート状部材についてしわを発生させることなくこれを吸着保持することを可能とするシート状部材の吸着保持方法を提供する。【解決手段】有効吸着領域を張力の付加方向とは垂直な方向における中央部及び該方向に関して中央部の両脇より有効吸着領域の外方に向かって等配で並べられた複数の吸着領域から構成する。吸着時に際しては、中央部の吸着領域から始め、有効吸着領域の外方に向かって並べられた吸着領域を中央部に隣接する内方側より外方側に向かって順次動作させてシート状部材の吸着領域を拡大させる。【選択図】図1B

請求項（抜粋）：

延在方向に張力が付加された長尺シート状の部材を吸着面表面上の有効吸着領域に吸着保持する吸着固定装置であって、 有効吸着領域において前記延在方向とは垂直な方向における中央部分に一が配置され前記一を中心として前記垂直な方向に関して前記一の両脇に等配で配置され、表面が前記吸着面表面を形成する複数の吸着プレートと、 前記複数の吸着プレートの各々の内部に配置され、前記吸着プレートの裏面の開口から対応する前記吸着プレート表面に開口する吸着開口に繋がる吸引経路と、 負圧を発生させて前記吸引経路を介して前記吸着開口に吸着力を生成する負圧供給手段と、前記吸着プレートの裏面の開口とを連通させる前記複数の吸着プレートの各々に対応して設けられる複数の真空経路と、 前記真空経路の中に配置されて前記真空経路の開閉を行う複数のバルブと、 前記複数のバルブ各々と接続されて前記バルブ各々に対して開閉操作を実行させる開閉制御手段と、を有し、 前記長尺シート状の部材を吸着保持する際に、前記開閉制御手段は、前記中央部分に配置される前記一の吸着プレートと対応する前記バルブを開放し、続いて前記一の吸着プレートの両脇に等配で配置された前記複数の吸着プレートの内の前記一の吸着プレートに近い側の前記吸着プレートに対応する前記バルブから順次開放することを特徴とするシート状部材の吸着固定装置。

IPC (3件)：

H01G 4/12 ,  H01G 13/00 ,  B65H 23/24

FI (3件)：

H01G4/12 364 ,  H01G13/00 331Z ,  B65H23/24

Fターム (9件)：

3F104AA03 ,  3F104BA00 ,  5E001AB03 ,  5E001AH05 ,  5E001AJ02 ,  5E082LL01 ,  5E082MM11 ,  5E082MM21 ,  5E082MM23

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3640868号公開公報
  
• 特開平4-206912号公報