特許

J-GLOBAL ID：200903075605876043

研磨液供給装置

発明者： 高下 順治 ,  安藤 学
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-213607
公開番号（公開出願番号）：特開平5-057612
出願日： 1991年08月26日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】 人手を要することなく研磨液の濃度の測定および調製を行なう。【構成】 高濃度の研磨液が貯留される高濃度液槽10と、前記研磨液の溶媒が貯留される溶媒槽12とを設ける。また、高濃度液槽10中の研磨液を吐出する第1の吐出ポンプ11と、溶媒槽12中の溶媒を吐出する第2の吐出ポンプ13とを設ける。そして、第1の吐出ポンプ11を介して高濃度液槽10と、第2の吐出ポンプ13を介して溶媒層12とそれぞれ連通している混合槽1を設置し、混合槽1には、濃度センサー5および供給ポンプ7がそれぞれ間挿され、混合槽1および図示しない研磨装置間を連通する供給用管路6と、混合槽1および前記図示しない研磨装置間を連通する戻り用管路8とをそれぞれ設ける。さらに、入力端が濃度センサー5の出力端に接続され、出力端が第1および第2の吐出ポンプ11、12にそれぞれ接続されている吐出量制御装置15を設ける。

請求項（抜粋）：

研磨液を研磨装置へ供給する研磨液供給装置において、高濃度の研磨液が貯留される高濃度液槽と、前記研磨液の溶媒が貯留される溶媒槽と、前記高濃度液槽中の研磨液を吐出する第1の吐出ポンプと、前記溶媒槽中の溶媒を吐出する第2の吐出ポンプと、前記第1の吐出ポンプを介して前記高濃度液槽と、前記第2の吐出ポンプを介して前記溶媒層とそれぞれ連通している混合槽と、濃度センサーおよび供給ポンプが間挿され、前記混合槽および前記研磨装置間を連通する供給用管路と、前記混合槽および前記研磨装置間を連通する戻り用管路と、入力端が前記濃度センサーの出力端に接続され、出力端が前記第1および第2の吐出ポンプにそれぞれ接続されている吐出量制御装置とを有することを特徴とする研磨液供給装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-066850
  
• 特開昭51-002093
  
• 特開平2-257627