特許
J-GLOBAL ID：200903075607979800
基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120349
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312726
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 第1の場所での基板の位置ずれを補正して第2の場所に置く構造を簡単とする。【解決手段】 第1の場所4に置かれている多角形の基板3を持ち上げて移動することにより基板3を第2の場所10に搬送する支持部材1と、第1の場所4から取り出されて移動する基板3の移動路上に固定的に配置され、基板3の隣り合う2辺上の少なくとも3点が通過するときの支持部材1の位置を検出する2つの位置検出センサ21,22と、位置検出センサ21,22の検出値に基づいて支持部材1に対する基板3の前後及び左右方向の位置ずれと傾きとを算出し、算出値に基づいて支持部材1を駆動して第2の場所10への正規位置となるように基板3の位置補正を行う制御手段40とを備える。従来の構造に2つの位置検出センサ21,22と、演算を行う制御手段40を加えた簡単な構造で基板3を正確におくことができる。
請求項（抜粋）：
第1の場所に置かれている多角形の基板を持ち上げて移動することにより基板を第2の場所に搬送する支持部材と、前記第1の場所から取り出されて移動する基板の移動路上に固定的に配置され、基板の隣り合う2辺上の少なくとも3点が通過するときの前記支持部材の位置を検出する少なくとも2つの位置検出センサと、この位置検出センサの検出値に基づいて前記支持部材に対する基板の前後及び左右方向の位置ずれと傾きとを算出し、この算出値に基づいて前記支持部材を駆動して前記第2の場所への正規位置となるように基板の位置補正を行う制御手段と、を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 13/08
, B65G 1/00 545
, B65G 49/07
H01L 21/68 F
, H01L 21/68 A
, B25J 13/08 Z
, B65G 1/00 545
, B65G 49/07 D
