特許
J-GLOBAL ID：200903075612701429
CCDマイクロスコープ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澤野 勝文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-110652
公開番号（公開出願番号）：特開平11-308496
出願日： 1998年04月21日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 二種類の照明を選択的に照明して被観察物の表面状態と内部状態を撮像する場合に、照明光の色の違いに起因する画像の色調の違いを無くすと共に、表面状態と内部状態を明確に区別して撮像できるようにする。【解決手段】 振動方向が互いに直交する偏光を被観察物に選択的に照射する二つの偏光照明系(8A, 8B)を備え、被観察物からCCD素子(6) に至る光路(X) 上に、一方の偏光照明系(8A)の偏光に一致し、他方の偏光照明系(8B)の偏光に直交する振動方向の検光子(11)を配した。偏光照明系(8A)の偏光のうち表面反射により変更状態が維持された光により表面状態が撮像され、偏光照明系(8B)の偏光のうち内部反射により変更状態が変化された光で内部状態が撮像される。また、夫々の偏光を、例えば振動方向を除き光学的性質の等しい偏光子(10A, 10B)で形成すれば、照明光の色の違いに起因する画像の色調の違いもなく、観察しやすい画像が得られる。
請求項（抜粋）：
振動方向が互いに直交し若しくは略直交する偏光を被観察物に選択的に照射する二つの偏光照明系(8A, 8B) を備えると共に、被観察物から当該被観察物を撮像するCCD素子(6)に至る光路(X)上には、一方の偏光照明系(8A)の偏光の振動方向に一致し若しくは略平行で、且つ、他方の偏光照明系(8B)の偏光の振動方向に直交し若しくは略直交する振動方向の検光子(11)が配されていることを特徴とするCCDマイクロスコープ。
IPC (4件)：
H04N 5/225
, G01N 21/21
, G02B 21/00
, G02B 25/00
H04N 5/225 C
, G01N 21/21 Z
, G02B 21/00
, G02B 25/00 Z
