特許
J-GLOBAL ID：200903075614194893
振動型角速度検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279106
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118491
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【目的】 平行板コンデンサのコリオリ力による静電容量の変化に基づき可動体の角速度を検出するにあたり、駆動電極から平行板コンデンサへの駆動信号の回り込みを抑制するようにした振動型角速度検出装置を提供する。【解決手段】 コリオリ力に基づく移相器80の移相電圧は、パルス発生器110により2値化パルスとして形成される。そして、この2値化パルスと発振器100からの発振信号とがEXORゲート120により排他論理和信号として同期検波回路140に出力される。発振器100の発振信号は固定電極50に印加される。C-V変換器130の入力端子は可動電極22に接続されている。同期検波回路140は、C-V変換器130が可動電極22の電荷量を容量信号に変換する。この容量信号が同期検波回路140により排他論理和信号に基づき同期検波される。
請求項（抜粋）：
可動体に支持される固定電極(50)と、この固定電極と共に平行板コンデンサを形成する可動電極(22)と、この可動電極をその板厚方向とは直角な方向に振動させるように配置した駆動電極(30、40)と、前記可動電極の板厚方向とは直角な方向の振動を検出する検出素子(23a、23b)と、前記検出素子の検出出力の位相を所定位相だけ移相して移相信号を形成し、この位相信号を、前記可動電極をその板厚方向とは直角な方向に振動させるように、駆動信号として前記駆動電極に印加する駆動信号印加手段(60乃至80)と、可動体の角速度に応じて前記可動電極の板厚方向にコリオリ力が生じたときこのコリオリ力に応じて変化する前記平行板コンデンサの静電容量を容量信号に変換する変換手段(130)と、前記容量信号を前記駆動信号に基づき同期検波する同期検波手段(140)とを備え、この同期検波手段の同期検波出力を前記角速度として検出する振動型角速度検出装置であって、前記変換手段が前記可動電極の電位を一定に維持するようにした振動型角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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