特許

J-GLOBAL ID：200903075619493937

石英ルツボ製造装置

発明者： 武下 臣 ,  渡辺 乃扶也 ,  立野 信之 ,  ジョン・アレキサンダー・ウインターバン
出願人/特許権者： 三菱マテリアルクォーツ株式会社 ,  三菱マテリアル株式会社 ,  テイーエスエル・グループ・ピーエルシー
代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067778
公開番号（公開出願番号）：特開平10-017391
出願日： 1988年08月19日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】 減圧操作の信頼性が高く、モールドの交換が可能な石英ルツボ製造装置の提供。【解決手段】石英粉が装入されるモールドと該モールドを支持するモールドホルダーによってモールド部分が形成されており、該モールドの底部がモールドホルダー上端に着脱自在に嵌合され、これによりモールド底部とモールドホルダーの間に気密な減圧室が形成され、モールドに設けた該減圧室に通じる複数の排気孔を通じてモールドが減圧されると共にモールドが交換可能であることを特徴とする石英ルツボ製造装置。

請求項（抜粋）：

回転自在な中空のモールド、該モールドの回転手段、該モールドの減圧手段、該モールドの内側に挿入される出し入れ自在な加熱手段を有する石英ルツボ製造装置において、石英粉が装入されるモールドと該モールドを支持するモールドホルダーによってモールド部分が形成されており、該モールドの底部がモールドホルダー上端に着脱自在に嵌合され、これによりモールド底部とモールドホルダーの間に気密な減圧室が形成され、モールドに設けた該減圧室に通じる複数の排気孔を通じてモールドが減圧されると共にモールドが交換可能であることを特徴とする石英ルツボ製造装置。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/10 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06 502 B