収差測定装置、収差測定方法、光学系、および、露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397966
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197510
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】光学系の像面における走査対象エリアが広くかつ走査点数が多い場合でも、短時間にかつ空気ゆらぎの影響を受けることもなく、光学系の歪曲収差やその他の収差を精度良く測定できる装置などを提供する。【解決手段】被検光学系10aの像面において複数の開口部の像と複数の光選択部との相対位置を変化させる移動手段16と、複数の像のうち複数の光選択部と重なり合う部分の光を選択し、選択された光を光選択部ごとに同時に受光する手段15と、上記した相対位置の変化量を非接触で測定する測定手段17とを備える。上記の移動手段は、複数の光選択部の配列範囲より狭い範囲内で、開口部の像と光選択部との相対位置を各々変化させる。上記の測定手段は、移動対象物との距離を上記の狭い範囲に応じた微小距離以内に保ちながら測定を行う。

請求項（抜粋）：

2次元配列された複数の開口部を有し、前記複数の開口部の各々から被検光学系に向けて光を射出する射出手段と、前記複数の開口部から射出された前記光によって前記被検光学系の像面に形成される前記複数の開口部の像を個別に走査する走査手段とを備え、前記走査手段は、前記射出手段における前記複数の開口部の配列に対応して前記像面に2次元配列された複数の光選択部を有し、前記像面に形成された前記複数の像のうち前記複数の光選択部と重なり合う部分の光を選択する選択手段と、前記選択手段によって選択された前記重なり合う部分の光を各々の光選択部ごとに同時に受光する受光手段と、前記射出手段の複数の開口部と前記選択手段の複数の光選択部との少なくとも一方を移動させることにより、前記像面において、前記複数の像と前記複数の光選択部との相対位置を変化させる移動手段と、前記移動手段による移動対象物の移動量を非接触で測定することにより、前記複数の像と前記複数の光選択部との相対位置の変化量を求める非接触測定手段とを含み、前記移動手段は、前記選択手段の複数の光選択部が2次元配列された範囲より狭い範囲内で、前記複数の像の各々と前記複数の光選択部の各々との相対位置を変化させる手段であり、前記非接触測定手段は、前記移動対象物の近傍において、前記移動対象物との距離を前記狭い範囲に応じた微小距離以内に保ちながら、前記移動対象物の移動量を測定する手段であることを特徴とする収差測定装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G01M 11/02 , G03F 1/08 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

G01M 11/02 B , G03F 1/08 P , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 516 A

Fターム (13件)：

2G086HH06 , 2H095BE05 , 2H095BE06 , 5F046AA25 , 5F046BA03 , 5F046CB17 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC03 , 5F046DA13 , 5F046DB01 , 5F046DB04 , 5F046DC12

前のページに戻る