特許

J-GLOBAL ID：200903075620298226

情報記録媒体用基板の製造方法及び情報記録媒体用基板

発明者： 吉野 邦彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-223059
公開番号（公開出願番号）：特開2000-053450
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】 表面に研磨剤の残存等に起因する突起がない平滑な面(或いは該突起を低減した平滑な面)を有し、ヘッドの低浮上量化を可能とする情報記録媒体用基板とその製造方法を提供すること。【解決手段】 円板状基板に、研磨液及び研磨パッドによる仕上げ研磨加工を施して、情報記録媒体用の基板を製造する方法において、前記研磨液の研磨剤濃度を徐々に或いは段階的に低下させて仕上げ研磨を行い、最終的には研磨剤濃度を略ゼロにして仕上げ研磨を行うことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。

請求項（抜粋）：

円板状基板に、研磨液及び研磨パッドによる仕上げ研磨加工を施して、情報記録媒体用の基板を製造する方法において、前記研磨液の研磨剤濃度を徐々に或いは段階的に低下させて仕上げ研磨を行い、最終的には研磨剤濃度を略ゼロにして仕上げ研磨を行うことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。

IPC (5件)：

C03C 19/00 ,  B24B 1/00 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/73 ,  G11B 5/84

FI (5件)：

C03C 19/00 ,  B24B 1/00 D ,  B24B 37/00 K ,  G11B 5/704 ,  G11B 5/84 A

Fターム (33件)：

3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AC02 ,  3C049AC04 ,  3C049CA01 ,  3C049CA04 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB10 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC02 ,  3C058AC04 ,  3C058CA04 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  4G059AA09 ,  4G059AC03 ,  4G059HB14 ,  5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006FA00 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA06 ,  5D112GA02 ,  5D112GA09 ,  5D112GA14 ,  5D112GA26