特許
J-GLOBAL ID：200903075628432355
シリカ粉移送用ダイヤフラム型ポンプ及びこれを用いた光ファイバ用母材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289209
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107868
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：
【要約】【課題】 潤滑油に起因するダイヤフラムの劣化が原因で発生する設備トラブルを解決し、排ガス処理設備で捕集された未付着シリカを連続的に取り出し移送することのできるダイヤフラム型ポンプ及びこれを用いた光ファイバ用母材の製造方法を提供する。【解決手段】 出発コア母材の表面に、火炎反応で生成したシリカ粉(ガラス微粒子)を堆積させて光ファイバ用母材を合成する際、出発コア母材上に堆積されずに排ガスとともに系外に排出されるシリカ粉を分離・除去する排ガス処理設備に取り付けられるポンプであって、ダイヤフラムの少なくとも駆動エアー供給側の表面に耐油性の皮膜を形成したことを要旨とする。
請求項（抜粋）：
出発コア母材の表面に、火炎反応で生成したシリカ粉(ガラス微粒子)を堆積させて光ファイバ用母材を合成する際、出発コア母材上に堆積されずに排ガスとともに系外に排出されるシリカ粉を分離・除去する排ガス処理設備に取り付けられるポンプであって、ダイヤフラムの少なくとも駆動エアー供給側の表面に耐油性の皮膜を形成したことを特徴とするシリカ粉移送用ダイヤフラム型ポンプ。
IPC (3件)：
F04B 43/02
, C03B 8/04
, C03B 37/018
F04B 43/02 B
, C03B 8/04 C
, C03B 8/04 Z
, C03B 37/018 C
, C03B 37/018 Z
3H077AA20
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD09
, 3H077DD14
, 3H077FF07
, 3H077FF08
, 4G014AH14
, 4G014AH19
, 4G021EA03
, 4G021EB22
