特許
J-GLOBAL ID：200903075634497493
インクジェット記録ヘッドの製造方法、前記インクジェット記録ヘッドの製造装置、前記インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321392
公開番号（公開出願番号）：特開2002-127430
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：
【要約】【課題】 非常に小さなインク滴の吐出が可能で、かつ、インク滴の着弾精度を向上させる。【解決手段】 まず、樹脂からなるオリフィスフィルム2にエキシマレーザ加工により吐出口3の直線部12を形成する。次に、金属あるいはシリコンからなる、オリフィスフィルム2を保持するための保持基板9上に接着剤8をコートし、吐出口3の出口側19が形成された出口面5が接着面になるようにして、オリフィスフィルム2を保持基板9上に接着する。次に、保持基板9に接着されたオリフィスフィルム2を、酸素と塩素の混合ガスからなるエッチングガスでイオンエッチングし、吐出口3の入口側18に曲線部14を形成する。最後に、保持基板9および接着剤8を溶解除去する。
請求項（抜粋）：
インクを吐出させるために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子を備えた液流路が形成されたインクジェット記録素子と、前記インクジェット記録素子に接合され、前記各液流路に対応する部位にそれぞれ、前記各液流路と連通する複数のオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記オリフィスプレートとなるべき部材に、イオンエッチングにより前記オリフィスの側断面の一部が曲線となるように前記各オリフィスを形成するイオンエッチング工程を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 N
, B41J 3/04 103 B
2C057AF29
, 2C057AF43
, 2C057AG09
, 2C057AG46
, 2C057AP13
, 2C057AP23
, 2C057AP32
, 2C057AP47
, 2C057AP57
, 2C057AP60
, 2C057AQ03
, 2C057BA04
, 2C057BA13
