特許
J-GLOBAL ID：200903075634633141
基板の配列ピッチ変換装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027081
公開番号（公開出願番号）：特開平7-002308
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：
【要約】【目的】 配列ピッチを一括して変換する際に、基板保持部材で支持した基板の整列方向が傾斜することのない配列ピッチ変換装置を提供する。【構成】 複数の基板保持部材21を、ガイド支持部材25により基板Wの主面と直交する方向へ一列に摺動自在に拘束する。各基板保持部材21には、その主面に平行な方向へ走る被係合部24を形成する。傾斜揺動部材26には複数の係合部材28を等ピッチで設け、これらの係合部材28を各基板保持部材21の被係合部24に係合することにより、複数の基板保持部材21を整列方向へ等ピッチに拘束する。上記傾斜揺動部材26を傾斜揺動することにより、基板保持部材21の整列方向は傾斜することなく配列ピッチPのみが一括して変換される。
請求項（抜粋）：
基板を保持するために一列に整列配置された複数の基板保持部材と、これらの基板保持部材を整列方向へ等ピッチに拘束する傾斜揺動部材とを具備して成り、上記傾斜揺動部材を傾斜揺動することにより、複数の基板保持部材の配列ピッチを一括して変換するように構成した基板の配列ピッチ変換装置において、上記複数の基板保持部材を、ガイド支持部材により基板の主面と直交する方向へ一列に摺動自在に拘束し、上記各基板保持部材には、その主面と平行な方向へ走る被係合部を形成するとともに、上記傾斜揺動部材には複数の係合部材を等ピッチで設け、これらの係合部材を上記各基板保持部材の被係合部に係合することにより、複数の基板保持部材を整列方向へ等ピッチに拘束するように構成したことを特徴とする基板の配列ピッチ変換装置。
IPC (5件)：
B65G 1/00 537
, B65G 47/88
, B65G 47/90
, B65G 49/07
, H01L 21/68
