特許
J-GLOBAL ID:200903075638373420

加熱装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 油井 透 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-009006
公開番号(公開出願番号):特開平10-206040
出願日: 1997年01月21日
公開日(公表日): 1998年08月07日
要約:
【要約】【課題】 高温使用時における熱媒体の蒸発を軽減し、装置のコンパクト化及び信頼性の向上を図る。【解決手段】 高温用チラー1には、熱媒体入口4及び熱媒体出口5に接続される密閉型の熱交換タンク16が内蔵され、その内部に熱媒体17が満たされる。この熱交換タンク16に、空気抜き26を設けたリザーブタンク25を接続して、密閉式でも熱媒体17をポンプ19で装置外に循環できるようにする。熱媒体には、シリコーンオイルよりも高温使用に耐えるフッ素系熱媒体を用いる。
請求項(抜粋):
熱媒体を循環させて装置外の被加熱部を加熱する加熱装置において、上記熱媒体にフッ素系熱媒体を用いるとともに、該熱媒体を所定温度に加熱する密閉型のタンクと、該タンクから装置外の被加熱部に熱媒体を循環させる循環系とを備えたことを特徴とする加熱装置。
IPC (2件):
F28D 1/00 ,  H01L 21/205
FI (2件):
F28D 1/00 ,  H01L 21/205

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