特許

J-GLOBAL ID：200903075641354088

SF6ガス回収装置

発明者： 高野 和潔 ,  大熊 光一
出願人/特許権者： 山陽電子工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010143
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129344
出願日： 2000年01月14日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】 被回収容器26内のSF6ガスを回収するに当って、ガス分離部でSF6ガスと他の混合ガスとに分離する工程において分離しきれなかったSF6ガスが多少あっても、大気中に一切放出することがないようなSF6ガス回収装置を提供する。【解決手段】 ガスの分離部21でSF6ガスと他の混合ガスとに分離する過程において、混合ガスと共に微かなSF6ガスが混在する排ガスを、排ガス入口20を介してガス分離部21内の排ガスタンク6に一旦貯留した後に排ガス出口2を介して被回収容器26へ再び還流する。

請求項（抜粋）：

ガス分離部とポンプを有するSF6ガス回収装置において、被回収容器よりSF6ガスを含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、SF6ガスと他の混合ガスとに分離せしめてSF6ガスを回収すると共に、該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すように構成したことを特徴とするSF6ガス回収装置。

IPC (2件)：

B01D 53/04 ,  F17C 7/00

FI (2件)：

B01D 53/04 B ,  F17C 7/00 Z

Fターム (15件)：

3E072AA03 ,  3E072AA10 ,  3E072EA02 ,  3E072GA30 ,  4D012CA12 ,  4D012CA20 ,  4D012CB16 ,  4D012CD07 ,  4D012CE02 ,  4D012CF03 ,  4D012CF04 ,  4D012CF05 ,  4D012CG01 ,  4D012CH06 ,  4D012CJ01