特許
J-GLOBAL ID：200903075643719369

砥石の製造方法、及び砥石、並びに該砥石を備えた研磨装置

発明者：
福田 明

福田 明 について

, 
檜山 浩国

檜山 浩国 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (4件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-014984
公開番号（公開出願番号）：特開2005-205544
出願日： 2004年01月22日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】研磨液に可溶な粒子を、研磨液に不溶な樹脂によって実用的な被覆樹脂の厚さで完全に被覆し、マイクロカプセルの形態として砥石内に含有させることができる砥石の製造方法、加えて研磨装置を提供する。【解決手段】砥粒には酸化セリウムからなる砥粒の造粒物18、バインダ11にはエポキシ樹脂、可溶性粒子(固体粒子)12には予め乾燥粉末化した界面活性剤、可溶性粒子12に付着させる樹脂にはアクリル樹脂を用いた。界面活性剤にアクリル樹脂を付着させる工程は、気中懸濁法により、界面活性剤に対して3.0wt%のアクリル樹脂を付着させた。これらを混合して加熱加圧成形し、可溶性粒子(界面活性剤)12が封入されたマイクロカプセル17を含有する砥石を得た。なお、符号15はバインダ11の間に形成された空孔を示している。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
研磨液に可溶な固体粒子が封入されたカプセルを含有する砥石の製造方法であって、 前記固体粒子の表面に研磨液に不溶な樹脂を付着させて樹脂付着可溶性粒子を形成し、 砥粒と、バインダと、前記樹脂付着可溶性粒子とを混合して混合粉末を形成し、 前記混合粉末を加熱加圧成形することで加熱加圧成形の際に前記固体粒子が封入された前記カプセルを形成することを特徴とする砥石の製造方法。
IPC (4件)：
B24D3/00 ,  B24D3/02 ,  B24D3/28 ,  H01L21/304
FI (6件)：
B24D3/00 340 ,  B24D3/02 310A ,  B24D3/28 ,  H01L21/304 622E ,  H01L21/304 622F ,  H01L21/304 622X
Fターム (7件)：
3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BC03 ,  3C063BD05 ,  3C063EE10
引用特許：
出願人引用 (3件)

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