超音波シャワー装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽切正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019752
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209104
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内等における浮遊物質による洗浄対象物の汚染及び酸化をほぼ完全に防止し得る超音波シャワー装置を提供すること。【解決手段】ノズル1dから流下する洗浄用流体6を覆うように不活性気体10を供給し、以て前記浮遊物質に対するシールとなし、前記の効果を得る。

請求項（抜粋）：

洗浄用流体を偏平なノズルを通じて流下させる流体供給手段と、流下させるべき前記流体に超音波を付与する超音波付与手段とを備え、流下する前記流体を覆うように不活性気体を供給する気体供給手段を有することを特徴とする超音波シャワー装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 3/12

FI (3件)：

H01L 21/304 341 N , H01L 21/304 341 M , B08B 3/12 A

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