特許

J-GLOBAL ID：200903075647495120

磁気ディスク用スライダの加工方法

発明者： 金丸 昌敏 ,  原田 武 ,  細金 敦 ,  黒崎 英喜 ,  河野 顕臣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066887
公開番号（公開出願番号）：特開平5-274635
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【構成】イオンガン1から水平に発生されたイオンビーム2は冷却治具3に固定されたスライダ4及び厚板マスク5に照射され、スライダ4の材料表面を衝撃して材料表面分子をはじきとばすスパッタリング現象により、マスクパターンにしたがってスライダ4は加工される。【効果】スライダのななめ断差を垂直に加工し、かつ、再付着のない高精度の加工が可能であり、生産性に優れたスライダ加工方法を提供することができる。

請求項（抜粋）：

真空容器内でプラズマを発生させ、前記プラズマ中のイオンをマスキングを施したスライダ表面に導き、所望の微細形状に加工する方法において、前記マスキングの方法として個別に製作した厚板マスクを試料の表面に接触させることを特徴とする磁気ディスク用スライダの加工方法。