加工装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：金井英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-160821
公開番号（公開出願番号）：特開2002-346923
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】加工中のワークの形状を計測しつつワークを所望の形状に加工する加工装置を、提供する。【解決手段】変位センサ50c,50e,50mにより、ワークWの中心近傍の中心厚さTc,縁辺近傍の縁辺厚さTe,及び中心と縁辺との間の中間厚さTmを、計測する。これら中心厚さTc,縁辺厚さTe,及び中間厚さTmに基づき、ワークWに対する砥石11(,21)の相対的な姿勢を特徴づける傾斜角θ及びその位相αが取得される。制御部5は、中心厚さTc,縁辺厚さTe,及び中間厚さTmを監視しつつ、傾斜角θ及びその位相αを調節することにより、ワークWを所望の形状に研削する。

請求項（抜粋）：

円板状のワークを所定の円板状領域内で回転させつつ保持するワークホルダと、前記ワークを加工する作用面を有する一対の作用部と、前記両作用部の位置及び姿勢を変化させることにより、これら両作用部の作用面を前記ワークの表裏面に対して夫々接触させて、このワークを加工させる加工駆動部と、前記円板状領域の所定の計測位置における前記ワークの表裏両面同士の間隔を計測する計測部と、前記計測部から前記ワークの表裏両面同士の間隔を取得するとともに、この間隔が所望の値になるように、前記加工駆動部を制御して前記両作用部の位置及び姿勢を調節する制御部とを備えたことを特徴とする加工装置。

IPC (6件)：

B24B 49/04 , B23Q 17/20 , B24B 7/17 , B24B 41/04 , B24B 49/10 , H01L 21/304 621

FI (6件)：

B24B 49/04 Z , B23Q 17/20 A , B24B 7/17 Z , B24B 41/04 , B24B 49/10 , H01L 21/304 621 A

Fターム (10件)：

3C029BB02 , 3C034AA08 , 3C034BB75 , 3C034BB92 , 3C034CA05 , 3C034CA12 , 3C034CB01 , 3C043BC06 , 3C043CC04 , 3C043DD05

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