特許
J-GLOBAL ID：200903075655560055
静電チャックの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070163
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235153
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はひずみ、割れ、反りなどの発生がなく、自身発熱することのない物性のすぐれた静電チャックの製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックの製造方法は、絶縁性誘電体層とタングステンよりなる電極材を有する静電チャックの製造方法において、絶縁性誘電体層の上にタングステン化合物を含む被覆層を形成させたのち、これを焼成、還元して電極材としてなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
絶縁性誘電体層とタングステンよりなる電極材を有する静電チャックの製造方法において、絶縁性誘電体層の上にタングステン化合物を含む被覆層を形成したのち、これを焼成、還元して電極材としてなることを特徴とする静電チャックの製造方法。
IPC (2件)：
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