特許
J-GLOBAL ID:200903075658478210

磁気抵抗装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-228150
公開番号(公開出願番号):特開平7-170002
出願日: 1994年09月22日
公開日(公表日): 1995年07月04日
要約:
【要約】【目的】 測定される絶対電気抵抗値が不所望に小さくなることなく、垂直な測定構造に対し大きな磁気抵抗効果を呈する多層構造体を有する磁気抵抗装置を提供する。【構成】 基板1を有し、その表面上に多層構造体11が設けられている積層構造体を具える磁気抵抗装置において、前記の表面に互いにほぼ平行な複数の溝が設けられ、各溝は第1面7及び第2面9を有し、第1面はすべてほぼ平坦で且つ互いに平行であり、多層構造体の構成層は各前記の第1面上に、この第1面に対し平行となるように積層体に設けられており、前記の第1面に対し垂直な方向での積層体の厚さd1 は、各積層体が隣接の積層体と物理的に接触するような厚さとする。
請求項(抜粋):
基板を有し、その表面上に多層構造体が設けられている積層構造体を具える磁気抵抗装置において、前記の表面に、互いにほぼ平行な複数の溝が設けられ、各溝は第1面及び第2面を有し、第1面はすべてほぼ平坦で且つ互いに平行であり、多層構造体の構成層は各前記の第1面上に、この第1面に対し平行となるように積層体に設けられており、前記の第1面に対し垂直な方向での積層体の厚さは、各積層体が隣接の積層体と物理的に接触するような厚さとなっていることを特徴とする磁気抵抗装置。
IPC (3件):
H01L 43/08 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39

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