特許

J-GLOBAL ID：200903075672057030

照明光学系

発明者： 渋谷 真人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-086553
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257085
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 光源からの各偏光成分を有効に利用でき、かつ均一な照明が得られるような照明光学系を得る。【構成】 照明光学系の、光源と、光源からの光を2つの偏光方向に分離する偏光分離手段と、分離された偏光の一方を光源側に戻す第1の反射光学部材と、集光光学系とを、前記第1の反射光学部材による戻り光の光源像は前記集光光学系の光軸に対して垂直方向に光源から離れた位置に結合するよう配置する。

請求項（抜粋）：

光源と、光源からの光を2つの偏光方向に分離する偏光分離手段と、該偏光分離手段によって分離された偏光の一方を反射して光源側に戻す第1の反射光学部材と、該第1の反射光学部材による戻り光の偏光を変える偏光素子と、前記光源と前記第1の反射光学部材との間に設けられた集光光学系と、戻り偏光を反射し再び前記偏光素子へ入射させる第2の反射光学部材とを有し、前記光源と、偏光分離手段と、第1の反射光学部材と、集光光学系とが、前記第1の反射光学部材による戻り光の光源像を、前記集光光学系の光軸に対して垂直方向に前記光源又は該光源の共役位置から離れた位置に結像するように配置されていることを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

G02B 27/28 ,  G02F 1/13 505 ,  G03B 33/12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-013458
  
• 特公昭60-025356
  
• 特開昭62-051571
  
• 特開昭62-013266