特許

J-GLOBAL ID：200903075672506773

多層膜反射ミラー

発明者： 今村 基 ,  山内 直人 ,  天野 辰次
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269863
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194526
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 耐環境性能に優れ、また、表面にクラックが発生する恐れの少ない紫外線反射用の多層膜反射ミラーを提供する。【解決手段】 紫外域の波長を反射する多層膜反射ミラーにおいて、該反射ミラーの基板上に高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層することにより形成される積層膜と、該積層膜に生じる内部応力を緩衝させるための緩衝膜であって、積層膜の中に形成される緩衝膜とからなる。

請求項（抜粋）：

紫外域の光を反射する多層膜反射ミラーにおいて、該反射ミラーの基板上に高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層することにより形成される積層膜と、該積層膜に生じる内部応力を緩衝させるための緩衝膜であって、積層膜の中に形成される緩衝膜と、からなることを特徴とする多層膜反射ミラー。

IPC (2件)：

G02B 5/26 ,  G02B 5/08

FI (2件)：

G02B 5/26 ,  G02B 5/08 A

Fターム (14件)：

2H042DA01 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA14 ,  2H042DA18 ,  2H042DB02 ,  2H042DC02 ,  2H042DE07 ,  2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA15 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-182447
  
• 紫外線照射装置の多層膜フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-144430   出願人：旭光学工業株式会社
• 特開昭54-053549